De hoge mate van basisnauwkeurigheid van ZEISS PRISMO ultra wordt bereikt door talloze moderne functies en correcties. Deze omvatten thermische buigcompensatie, een actief pneumatisch dempingssysteem, verbeterde luchtlagers en ZERODUR®-schalen met een resolutie van 20 nm - voor opmerkelijke precisie en stabiliteit. Verdere verbeteringen van CAA, zoals geoptimaliseerde tensorkalibratie, compensatie van de buiging van de referentiebol en correcties voor RT-metingen, zorgen voor maximale precisie, zelfs bij hoge snelheden, en ondersteunen de uitstekende stabiliteit van het CMA door deze te beschermen tegen storende factoren.